中微公司首台等离子体晶圆切割设备成功交付
来源：澎湃新闻
近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（“中微公司”，688012）正式发布其全新产品——Primo Matrix双反应台等离子体晶圆切割设备，并宣布全球首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。（澎湃新闻记者周玲）
近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（“中微公司”，688012）正式发布其全新产品——Primo Matrix双反应台等离子体晶圆切割设备，并宣布全球首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。（澎湃新闻记者周玲）